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其他纳米测量仪器
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发布时间:2017/1/16 20:00:13                                     【字号:  】                                             【打印】 

2.36  其它商用纳米测量仪器

仪器名称

生产商

型号

主要指标

国内实验室

超声扫描显微镜

美国Sonoscan

D-9500

扫描面积333*312mm

分辨率2048*2048

德国PVA

SAM300

频率范围1-500MHz

换能器选择5-400MHz扫描范围0.2×0.2mm

-320×320mm

扫描速度1500mm/

纳米硬度测量仪

瑞士CSM

NHT

载荷范围0.1 mN -300mN;

美国CETR

APEX MH-2

德国Fischer

Fischerscope HM2000

纳米力学性能测量仪

瑞士CSM

OPX/CPX

扫描面积333*312mm

分辨率2048*2048

美国Hysitron

TriboIndenter

1载荷力分辨率:3nN(在施加1微牛顿力的条件下)

2可实现的最小载荷接触力: 100nN

3可实现的最大载荷: 12.6mN

4 位移分辨率:0.0004nm

5 可实现的最小位移: 0.2nm

6 可实现的最大位移:5μm

7 热漂移:<0.05nm/s(在室温条件下)

中国计量院

纳米划痕测试仪

瑞士CSM

UNHT

最小有效加载载荷£25Un最大有效加载载荷 ³100mN有效载荷分辨率 £1nN最小接触力 £100nN最大压痕深度 ³100um位移分辨率 £0.0003nm

美国Hysitron

PI-85

专用于现有的扫描电镜(SEM)系统
传感器参数:
 110 mN最大载荷  2、载荷分辨率≤ 3 nN
 3、力噪音背景RMS≤ 400 nN
 4、位移分辨率≤ 0.02 nm
 5、位移噪音背景RMS≤ 1 nm

TI-950

专用于现有的透射电镜(TEM)系统
使用PI 95 TEM PicoIndenter可以很容易添加定量压痕测试到下面兼容的传感器参数:
 1、最大载荷>1000 µN
 2、最大位移5000 nm
 3、力噪音背景RMS~0.2 µN
 4、位移噪音背景RMS ~1 nm

美国PICODENTOR

载荷范围0.005-500mN,载荷分辨率小于100nm

电容测微仪

德国Micro-Epsilon

UNHT

测量范围50um;分辨率0.0375nm;线性度0.1um

灵敏度200V/mm

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