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瑞士CSM纳米压痕仪NHT
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发布时间:2017/1/16 20:22:48                                     【字号:  】                                             【打印】 

仪器简介:

纳米划痕测试仪(10uN - 1N) 

可以测试薄膜和基底的临界附着力,划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化,以及用于纳米磨损测试。

瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度,适用的薄膜厚度一般低于800纳米。纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析,例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,保护性薄膜,装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料,包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。



技术参数:

划痕测试单元:

划痕正向力载荷 10uN-1N 
最大摩擦力 1N(或200mN) 
摩擦力分辨率 6uN(或300nN) 
最大划痕深度 200 um 
最大划痕长度 120mm 
划痕速度 0.4-600mm/min,连续可调 

高质量金相显微镜系统 :
配有高分辨率的彩色CCD和与之匹配的图形采集系统 
配有5X,20X、和100倍的物镜镜头,最大屏幕上放大倍率4000倍 
在不拆卸、更换镜头的情况下,通过转塔可以在不同倍率镜头间切换使用 
采用LED光源系统 
软件控制光源系统的亮度和聚焦 
点击鼠标即可实时存取试样表面的光学图像 
全自动连续景深成像(Multifocus) 
全景成像模式(Panorama模式,对划痕) 
双显示器,一个用于测试模块的软件控制,一个用于光学图像采集、观察 
配有成像分析软件:具有长度标尺,可以测试或显示光学图像中任意两点坐标,水平距离、垂直距离、直线距离

XYZ三方向全自动试样台(以CPX纳米力学平台为例):


X方向移动范围: 120mm 
Y方向移动范围: 70mm 
有效工作面积: 70mmX20mm 
定位分辨率:  0.1um 
定位精度:  1um 
Z方向自动移动范围: 30mm 
分辨率:10nm 
XYZ三方向移动控制:鼠标控制、键盘控制及操纵杆控制



主要特点:

高精度、高重复性精密纳米划痕测试系统 
具有有源力学反馈系统校正样品形貌带来的法向力变化 

实时记录正向力、摩擦力、摩擦系数随划痕距离的变化 
具有前扫描、后扫描模式 
往复划痕模式(磨损模式) 
全自动多点划痕模式、阵列划痕模式 
恒力划痕、渐进力划痕及台阶增力划痕模式 
全自动连续景深成像
专利全景成像模式, 成像长度不低于30mm 
划痕的光学图像和划痕位置实时一一关联对应 
鼠标移动至任意划痕位置时,可以显示并读取该点对应的正向力、摩擦力、位移深度数值 
鼠标移动至任意划痕位置时,可以观察到该点对应的光学图像 
点击鼠标可以自动定义并记录临界载荷以及该点对应的摩擦力、声发射、位移深度数值 
计算和显示单个试样不同位置划痕的临界载荷及其对应的声发射、摩擦力、位移深度的平均值和误差; 
任意多条划痕曲线同时显示、或求平均
预约或定时实验功能 
压头使用次数自动统计功能 
对仪器硬件或测试功能具有用户不同等级权限设定(密码保护)功能 
自动测试报告生成功能 
多语言切换(如中文、英文、德文、日文、法文等) 
 

选件

客户可以根据经费和实际需求选择CPX或OPX纳米力学平台),在此基础上可以选择CSM公司其它的力学测试模块如UNHT(超纳米压痕模块),NHT(纳米压痕模块),MHT(微米压痕模块),MCT(微米综合力学测试模块),原子力显微镜模块等,以构建自己需要的微纳米力学综合测试系统

多种金刚石划痕针头选择(曲率半径2um,5um,10um等,锥角60度,90度等) 

真空、湿度与温度控制选件


集成原子力显微镜或共焦显微镜三维成像

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